1.真空熱處理可以實現(xiàn)無氧化，無脫碳，無滲碳加熱。

　　2.具有脫脂除氣等功能，從而達到表面光亮凈化的效果。

　　3.零件經(jīng)真空熱處理后，畸變小，質(zhì)量高。

　　4.基本上沒有公害。

　　5.真空加熱爐可以在較高的溫度下工作。一些化學(xué)熱處理，如滲碳、滲氮、滲鉻、滲硼等，以及多元共滲速度快，省時，效率高。